氣相/液相滲硅爐
先進陶瓷
底升式碳管燒結(jié)爐是理想的氣相、液相滲硅爐
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用途：
底升式碳管燒結(jié)爐，底部出裝料是理想的碳基材料氣相、液相滲硅爐.
主要配置：
1.立式爐體，雙層爐體結(jié)構(gòu)，水冷夾套設(shè)計。
2.爐膛內(nèi)石墨碳管發(fā)熱體，保溫層，測溫、監(jiān)測熱電偶等組成。
3.出、裝料盤裝在爐底由電機驅(qū)動升降，便于出、裝料。
4.PLC加觸摸屏操作方式，有報警功能，自動化程序高,安全可靠
主要技術(shù)參數(shù):
1.工作區(qū)：?300X500mm
2.高溫度：2000℃
3.工作溫度：1650℃
4.極限真空度：5X10-3Pa
5.保護氣氛氮或氬氣
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