氣相滲透爐
先進(jìn)陶瓷
氣相滲透爐
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一、設(shè)備用途：
氣相滲透爐主要用于CVD和CVI工藝制備C/C、C/SIC及SIC/SIC復(fù)合材料，力學(xué)性能優(yōu)異，
適用于航空航天級(jí)別碳基及SIC基復(fù)合材料，該設(shè)備可用于縱項(xiàng)目SIC包殼管的研制。
C/C復(fù)合材料，C/SIC陶瓷基復(fù)合材料，熱解碳涂層，SIC涂層，以及SIC/SIC復(fù)合材料制備。
二、設(shè)備特點(diǎn)：
1 立式結(jié)構(gòu)，雙層水冷結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，爐殼用耐腐蝕材料制成。
2 獨(dú)特的內(nèi)罩進(jìn)排氣結(jié)構(gòu)，熱場(chǎng)溫度均勻性好。
3 氣氛控制精確，真空系統(tǒng)配有過濾器，可選配尾氣處理系統(tǒng)。
4 控制系統(tǒng)采用PLC加觸摸屏控制方式，操作方便，簡(jiǎn)單。
5 主要電器元件采用施耐德及歐姆龍品牌，性能穩(wěn)定、可靠。
三、主要技術(shù)參數(shù)：
| No. | 型號(hào) | 工作區(qū)尺寸 | 高溫度 | 真空度 | 壓升率 | 溫度均勻性 | 功率 |
| 1 | ZT-60-13 | ?300X600mm | 1300℃ | 1-100Pa | 0.67(Pa/h) | ±10℃ | 48KW |
| 2 | ZT-145-13 | ?500X1500mm | 1300℃ | 1-100Pa | 0.67(Pa/h) | ±10℃ | 135KW |
| 3 | ZT-160-13 | ?600X1500mm | 1300℃ | 1-100Pa | 0.67(Pa/h) | ±10℃ | 160KW |
| 4 | ZT-240-13 | ?800X1500mm | 1300℃ | 1-100Pa | 0.67(Pa/h) | ±10℃ | 240 |
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